矽 氧化数 306518-矽 氧化数
100>矽乾氧氧化反應 濕 (蒸氣) 氧氧化反應 si 2h2o sio2 2h2 高溫狀態下，h2o 會解離成 h 和 ho ho 在二氧化矽比在氧擴散較快 濕氧氧化反應比乾氧氧化反應的成長速率高 100>矽 濕氧 氧化反應 影響氧化速率的因素 溫度 化學反應, 濕氧氧化或乾氧氧化 厚度 壓力 晶圓无机化学原理部分按溶液理论、热化学与反应方向和限度、氧化 还原、物质结构、配位化学的顺序组成一个较完整的理论体系，重 点讨论"四大平衡"及其变化规律元素化学部分则以物质结构 和周期系为依据，结合专业特点，着力突出重要的、有代表性的会员中心 vip福利社 vip免费专区 vip专属特权 製備二氧化矽溶膠之物性探討與參數最適化研究 高雄應用科技大學 矽 氧化数